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等離子體是一種電中性、高能量、全部或部分離子化的氣態(tài)物質(zhì)，包含離子、電子、自由基等活性粒子。借助高頻電磁振蕩、射頻或微波、高能射線、電暈放電、激光、高溫等條件產(chǎn)生。等離子體清洗是通過其所含的活性粒子與污染物分子反應(yīng)使其從固體表面分離來進(jìn)行的。是一種干式清洗技術(shù)，能夠替代傳統(tǒng)的濕法清洗技術(shù)。能夠在不破壞材料表面特性的前提下，有效清除材料表面的微塵及其它污染物。

影響等離子體清洗效率的因素主要有以下幾點(diǎn)：

(1) 電極：電極放電面積越大，電極間距越小，清洗效率越高。

(2) 壓強(qiáng)：工作壓強(qiáng)越大，等離子體密度越高，清洗速率越快。

(3) 功率：等離子放電功率越大，對工件表面的清洗強(qiáng)度越大。

(4) 時(shí)間：清洗時(shí)間的長短會(huì)直接影響到等離子體對工件的清洗效果以及工作效率。

(5) 速度：處理連續(xù)傳動(dòng)的工件時(shí)，工件與電極的相對移動(dòng)速度越慢，處理效果越好。

(6) 氣體：待處理工件的基材及其表面污染物具有多樣性，因此有針對性地選擇等離子體的工作氣體十分重要。不同氣體放電所產(chǎn)生的等離子體清洗速度和清洗效果可相差幾倍甚至幾十倍。

(7) 其他：等離子體清洗工藝中的氣體分配、氣體流量、電極設(shè)置等參數(shù)也會(huì)影響清洗效果。因此需要根據(jù)實(shí)際情況和清洗要求設(shè)定具體的、適合的工藝參數(shù)。

等離子清洗機(jī)